VLSI製造における測定・検査市場

2,100万ドル規模のIntegrated Metrology (IM)市場は、2005年には倍増し4,300万米ドルに拡大すると、米調査会社The Information Networkの最新英文市場調査報告書 「Metrology, Inspection, and Process Control in VLSI Manufacturing」は予測している。

IM市場は2倍強に成長すると見込まれるが、Intel、IBM、TI、TSMCなど大手IC企業がプロセス技術、材料、ウェハーのサイズ面で市場を牽引するという従来のパターンは見られないとしている。現在、新規のOEM顧客の採用率は低い水準にある。

NanometricsとNovaの2社はAMAT社と、Rudolph社はTEL社とそれぞれ直接的関係がある。これらの関係は、OEM/エンドユーザーIM市場に大きな部分を占める。The Information Networkはこのようなビジネス関係を、IMがより中心的な役割を担うに伴い、収益拡大要因として働くと見る。

統合非金属薄膜市場は、2003年から2005年まで年間複合成長率18.7％で拡大すると見込まれる。対照的に、スタンドアローン市場は同12.8％に留まるとしている。この推定成長率は半導体測定・検査市場全体の拡大を反映したものである。同市場は2002年の25億ドルから2003年は28億ドルを突破すると見込まれている。

The Information Networkの Robert N. Castellano社長は「測定・検査ツールの使用の拡大に伴い、半導体製造はより複雑化しコストも高くなる。既存製造工場は、ユニットを増やすことによって検査機能を高め先端的な製造工場への脱皮を図っている。新たに建設される300mm ウェハー製造工場が検査部門の売上の40％を占めるだろう」と分析する。

さらに同社長は「回復は始まっている。2003年は測定・検査市場規模が11.5％と大幅に拡大するだけでなく、フロントエンド半導体機器市場全体も7.3％成長すると予測される」と指摘する。