エッチング装置市場

米ハイテク専門の調査会社、The Information Networkの最新英文市場調査報告書「Plasma Etching: Market Analysis and Strategic Issues」によると、米Applied Materials、米Lam Researchは、絶縁膜エッチング装置の市場リーダーである東京エレクトロンに次ぐ第2位の地位を確保しようと争っているとしている。

The Information Networkの社長であるCastellano氏は「絶縁膜エッチング装置部門はポリエッチ装置の2倍、メタルエッチ装置の3倍の規模を持つ最も有望な市場である。特筆すべきは、銅配線への急速な移行は絶縁膜エッチング装置部門がポリエッチ、メタルエッチ両装置部門を犠牲にする形で成長してゆくことを意味するということだ」と分析する。

東京エレクトロンは2002年、絶縁膜エッチング装置市場の53%強を握り首位に立った。その後をApplied Materials（24%）、Lam Research（19%）が追っている。東京エレクトロンはこの部門での強みによって、プラズマエッチング市場全体でも32％のシェアを握り、Applied Materials（30%）、Lam Research（27%）に先行する。

Applied Materialsは新型Producer Etch システムを導入した。同社によると、スループットは競合システムの2倍であるという。一方Lam Researchは、膜厚65nmノード以下のフロントエンド、バックエンド機能を持つ2300 Exelan Dielectric Etch Systemを発表した。

Castellano氏は「両社とも、東京エレクトロンのシェアが2000年46％、2001年50％、2002年53％と順調に伸びているのを目の当たりにし、巻き返しを図らなければならないという思いを強くしている」と指摘する。