サブ 100nm IC 製造用化学薬品および材料

通信や集積回路、コンピューターの工業分野の市場調査で世界的に高い評価を得ております The Information Network（本社：ペンシルバニア州）では、サブ 100nm の半導体製造に使用される化学薬品および材料に関する詳細な分析を行った報告書 “Chemicals and Materials for Sub-100 nm IC Manufacturing”を発行いたしました。

当報告書では、半導体業界の動向、液体、気体薬品やスパッタリング材料に関する技術課題、純度要件、管理法、実際に使用されている薬品デリバリ方法、今後の予測や顧客の課題などについて、概略下記の構成でまとめております。

第 1 章 イントロダクション

第 2 章 エグゼクティブサマリー

第 3 章 IC 業界の動向

• IC 業界の発展予測
• IC プロセッシング技術の動向
• ESH 課題

第 4 章 液体薬品

• 技術課題
  • 酸と溶剤
  • レジスト
• 純度要件
  • 浄化方法
  • 微粒子
• 薬品管理
  • 概要
  • 薬品使用量の低減

第 5 章 気体

• 技術課題
• 要件
  • 浄化方法
  • 微粒子
  • サマリー
• 薬品管理

第 6 章 スパッタリングと蒸発材料

• 技術課題
• 純度要件

第 7 章 薬品のデリバリ

• ベンダーの代替デリバリ法
  • ボトル
  • バルク提供
• POUCG
• 薬品管理サービス
  • 概要
  • プロセスの開始
  • CMS サプライヤの責務
  • 薬品利用の発展
  • JIT 在庫管理
  • 環境サービス
  • 最適化薬品デリバリ
  • 再生装置管理
  • コスト/利点
  • 動向

第 8 章 市場予測

• 市場影響因子と仮定
• 薬品および材料に関する予測
  • 薬品および材料別の予測
  • 処理されるシリコンの単位面積あたりの薬品の利用量
  • 市場シェア
  • NF3 市場分析

第 9 章 顧客課題

• ベンダーのベンチマーキング
  • 品質管理統計
  • 分析能力
  • 製品の製造/ソーシング
  • 一般的見解
• 社内の品質管理と保証
  • 分析ツール
  • テストの実施回数
  • 排気ガス分析