当報告書では、1991年から2007年にかけて、北米、日本、欧州、韓国、台湾、中国などの半導体装置メーカーによる売上データをまとめ、概略下記の構成でお届けいたします。
装置カテゴリー
- 装置全体
- マスク／レチクル装置
- ウエハ製造装置
- ウエハ加工装置
- 暴露＆ライト装置
- レジスト加工装置
- エッチング装置
- 表面調整／洗浄・乾燥装置
- 熱処理装置
- イオンインプラント装置
- CVD装置
- スパッター装置
- その他の蒸着装置
- 検査・測定装置
- CMP装置
- その他のウエハ加工装置
- 組立て・包装装置
- ファブ設備
- 試験装置全体
- SOC＆ロジック試験装置
- メモリ試験装置
- ハンドラー
- 試験関連
電子部品/半導体
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