TSV+：3D TSV製造分析のためのコストモデルツール：データベース

当データベースは一定のTSVプロセスフローにおける製造コスト分析が行えるよう構成されたコストモデルツールであり、各種TSVオプションの経済的フィージビリティの分析に有益な各種データをまとめ、概略下記の構成でお届けいたします。

データベース内容

• プロセスフローチャート：利用機器タイプ・ステップ数
  • リソグラフィ
  • エッチング
  • 堆積
  • ボンディング、など
• ファブデータ
  • 年間製造量
  • 地域的カバレージ
  • 機器の償却
• 機器ごとのデータ
  • ウエハあたりのプロセス時間
  • ウエハあたりのオペレーター時間
  • 機器の価格
  • 消費量（電力など）
  • ウエハあたりの消費財（スラリーなど）
• 3DスタッキングのTSVコスト構造内訳、など